衍射光学技术及其应用.pptxVIP

会计学第1页/共70页内容：什么是衍射光学，优势何在？如何设计衍射光学器件？如何加工衍射光学器件？衍射光学器件的应用薄透镜成像第2页/共70页光线：折射、反射传播方向由斯涅耳公式确定能量分配由菲涅耳公式确定第3页/共70页电磁波：衍射、干涉、偏振等杨氏双缝干涉实验单缝衍射实验第4页/共70页1、什么是衍射光学？信息的获取信息的传输信息的存储信息的处理信息的显示 · · · · · ·仪器仪表信息光学仪器仪表激光 1960年第5页/共70页光学技术与仪器的发展趋势： 小(微)型化、阵列化、集成化。传统的光学器件对此却“心有余而力不足”，供需矛盾就要求在技术上要有所创新与突破。微光学第6页/共70页微光学两个主要分支: 基于折射原理的梯度折射率光学 基于光波衍射原理的衍射(二元)光学 1987年，美国MIT林肯实验室Veldkamp领导的研究组在设计新型传感系统中，率先提出了“二元光学”的概念。二元光学元件因其在实现光波变换上所具有的许多卓越的、传统光学难以具备的功能，而有利于促进光学系统实现微型化、阵列化和集成化，开辟了光学领域的新视野。第7页/共70页衍射光学定义：基于光的衍射理论，利用计算机辅助设计、并用大规模集成电路制作工艺，在基片上(或传统光学器件表面)刻蚀产生两个或多个台阶深度的浮雕结构，它是一种纯位相衍射光学元件。 折射透镜到衍射光学器件浮雕结构的演变 第8页/共70页掩模曝光显影刻蚀二元！第9页/共70页衍射理论：标量衍射理论和矢量衍射理论。特征尺寸波长，标量衍射理论；特征尺寸~波长，矢量衍射理论。 第10页/共70页菲涅耳衍射：夫琅和费衍射：第11页/共70页衍射光学的优点： 高衍射效率? 独特的色散性能 更多的设计自由度? 宽广的材料选择性 特殊的光学功能高衍射效率L：位相台阶数第12页/共70页独特的色散性能折衍混合物镜传统物镜?3?1?2 第13页/共70页更多的设计自由度台阶位置、宽度、深度、形状等。宽广的材料可选性只要能刻蚀的，都能作为基底进行衍射光学器件的刻蚀。光学材料、光子学材料、光电材料、电子学材料 熔融石英、硅、SiO2, SiON, Si3N4 玻璃 glass 塑料 plastic 丙烯酸 acrylic 环氧 epoxy 聚酰胺 polyamide 聚碳酸酯 polycarbonate 树脂resin ZnS 铝 aluminum 铬 chromium 铜 copper 锗 germanium 砷化锗 germanium arsenide 金 gold 镍 nickel 第14页/共70页特殊的光学功能Micro lens multicolor dispersive beam collimator aspheric generationMulti focal chromatic correction beam diverter aspheric correctionbeam steerer,scanner polarization rotator beam multiplexer wavefront sampler第15页/共70页2、如何设计衍射光学器件？标量衍射理论： 菲涅耳衍射与夫琅和费衍射空间线性变换系统中的输入输出变换问题？位相恢复问题：已知光学系统输入面光场振幅与位相分布，如何计算衍射光学器件的位相分布以正确调制入射光场，高精度地给出预期输出振幅分布，实现所需功能。 解的存在性和唯一性？第16页/共70页衍射光学实现光束匀滑 DOE透过率函数 不能解析求解 转化成优化问题第17页/共70页许多优化算法被提出来进行衍射光学器件的设计： a. 遗传算法(GA) b. 模拟退火算法(SA) c. Gerchberg-Saxton算法(GS) d. 杨-顾算法(YG) e. 最速下降算法 f. 爬山法 g. 全局／局部联合搜索算法(GLUSA) h. 爬山—模拟退火混合算法　 ……全局优化潜力优化效率不高全局搜索算法局部搜索算法优化效率高混合算法第18页/共70页 最早的实用算法是GS算法，于1971年由Gerchberg和Saxton首先提出。 第19页/共70页GS算法的不足与改进：不足: 包含许多位相突变点 PMA、缓变的理想输出函数等引入局部替代函数获得连续位相分布 第20页/共70页不足: 局部搜索算法　输入输出、ST等　 对初始值敏感、易陷入局部极值点、设计性能不好ST改进算法设计结果第21页/共70页YG算法：更普适的算法2