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X 射线光电子能谱（XPS） X 射线光电子能谱是利用波长在 X 射线范围的高能光子照射被测样品，测量由此引起的光电子能量分布的一种谱学方法。样品在 X 射线作用下，各种轨道电子都有可能从原子中激发成为光电子，由于各种原子、分子的轨道电子的结合能是一定的，因此可用来测定固体表面的电子结构和表面组分的化学成分。在后一种用途时，一般又称为化学分析光电子能谱法 （ Electron Spectroscopy for Chemical Analysis，简称 ）。与紫外光源相比，X 射线的线宽在 以上，因此不能分辨出分子、离子的振动能级。此外， 在实验时样品表面受辐照损伤小，能检测周期表中除 和 以外