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会计学;参考书;第一讲 薄膜材料简介;薄膜材料的历史;Worldwide market of raw materials for thin film technology;构成薄膜的材料;按薄膜的功能及其应用分为：;薄膜材料的定义;薄膜材料的特点;薄膜材料的特点;表面效应---表面散射;表面效应---电导率降低;表面效应---熔点降低;
将 代入式（1-3）得到：
可见， ，也就是说小球的熔点低于块材的熔点，并r越小，熔点降得越低。Pb在r=10-7cm时，Tm-Ts=150K。
实验表明，薄膜材料的熔点普遍低于它相应块材的熔点。;薄膜的结构和缺陷;薄膜的组织结构;外延（Epitaxy）;薄膜的表面结构;薄膜的缺陷;异常结构和非理想化学计量比特性;化合物的计量比，一般来说是完全确定的。但是多组元薄膜成分的计量比就未必如此了。
通常随着原子比不同，其物性差异很大，即成分偏析。;薄膜和基片（衬底）;为什么要发展薄膜材料;薄膜材料的应用;耐磨、防腐与装饰涂层;光学涂层材料;薄膜太阳电池;;磁存储技术中的薄膜材料:
磁头与磁记录介质;微机电系统中的薄膜材料:
微型反射镜组; Metals: Al, Cu, Au ……
Glass: SiOx, SiNx ……
Ceramics: YBCO, PZT ……
Semiconductors: Si, GaAs ……
Polymers: PE, PMMA ……;薄膜材料技术的研究内容;Old preparation procedures include:
Dipping
Spraying
Painting
Electro-deposition
……… ;小结: 现代的薄膜材料科学与技术;Example: A coater for tool coatings;A coater line for CDs and DVDs;A coating system for hard disks;A clustered coating system for IC;A coater for flat panel displays;A commercial CVD equipment for film deposition on Si wafers in semiconductor industry;An in-line PECVD machine for solar cells;PECVD system at RWE-Schott Solar, Germany with a-Si solar cells production capacity of 3 MWp/yr
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