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第8章 洁净室检测与认证 学习要求 1、掌握洁净室的检测程序及要求; 2、了解其他知识。 8.1 检测程序及要求 8.1.1 检测程序(重点) 应明确洁净室或洁净区域的占用状态。 检测分为洁净室工程竣工验收的检测、综合性能评定的检测和运行中的监测及定期综合性能检测。 竣工验收的检测和调整应在空态下进行,综合性能全面评定的检测状态应协商确定。 8.1.2 检测内容 1、竣工验收 竣工验收在对各分部工程作外观检查、单机试运转、系统联合试运转,空态或静态条件下的洁净室性能检测和调整以及对有关的施工检查记录合格后进行。 8.1.2 检测内容 2、综合性能全面评定 检测工作必须由有经验的第三方承担; 检测所用仪表必须合格有效。 检测工作须在系统调整符合设计要求并运行至少24h后进行,且在检测工作之前,必须对洁净室及净化空调系统再次进行全面彻底的清扫。 8.1.2 检测内容 3、洁净室(区)性能测试和认证 洁净室(区)投入运行后,需进行监测和定期性能测试认证。 测试认证工作应由专门的洁净室检测认证单位承担。 洁净室(区)各阶段测试要求 洁净室(区)各阶段测试要求 8.2 检测方法及评定标准 8.2.1 高效过滤器检漏 对于5级(100级)以上洁净室所使用的高效过滤器,在进入现场前后均应进行高效过滤器本体的性能检测,同时进行检漏试验以确认高效过滤器是否正确安装。 8.2.1 高效过滤器检漏 1、检测要求 一般采取粒子计数器法进行检漏。 被检高效过滤器上风侧的微粒浓度: dc≥0.5μm,N≥3.5×104pc/L; dc≥0.1μm,N≥3.5×106~3.5×107pc/L。 8.2.1 高效过滤器检漏 2、检测方法 采用扫描法对高效过滤器安装接缝和主断面进行检测。 粒子计数器的最小采样量大于1L/min。 扫描方法示意图 8.2.1 高效过滤器检漏 3、检测设备 8.2.1 高效过滤器检漏 4、合格标准 高效过滤器 超高效过滤器 8.2.2 静压差 1.检测要求 在洁净区内所有的门全部关闭的情况下进行。 在洁净室平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行,一直检测到直通室外的房间。 测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可,测管口面与气流流线平行。 所测定记录的数据应精确到0.1Pa。 8.2.2 静压差 2.检测方法 先关闭所有门。 用微压差计测量各洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差。 记录所有数据。 8.2.2 静压差 3.测量仪器 采用YJB-150补偿微压差计,量程0~1500Pa或其他压差计,仪表灵敏度小于0.1Pa。 8.2.2 静压差 4.合格标准 不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差,应≮4.9Pa。 洁净室与室外的静压差,应≮9.8Pa。 若达不到标准,应重新调整新风量、排风量,至合格为止。 8.2.3 风速、风量的测定 1.检测要求 风量、风速应首先检测; 风量检测前,必须检查风机运行是否正常,系统各部件安装是否正确,有无障碍,所有阀门应固定在一定的开启位置上,并应实测风管、风口的尺寸是否符合设计要求。 8.2.3 风速、风量的测定 2.检测方法 单向流洁净室: 非单向流洁净室: 风管法; 风口法。 8.2.3 风速、风量的测定 8.2.3 风速、风量的测定 8.2.3 风速、风量的测定 8.2.3 风速、风量的测定 3.测量设备 热球风速仪、毕托管和微压计等。 4.合格标准 实测室内平均风速应大于设计风速,应为设计风速的1~1.2倍,且为正偏差; 单向流洁净室的截面风速不均匀度不应大于0.25。 8.2.3 风速、风量的测定 4.合格标准 实测新风量与设计新风量之差不应超过设计风量的10%; 洁净室系统总风量与设计风量的允许偏差为0~20%; 室内各风口风量与各自设计的风量之差不应超过设计风量的15%。 8.2.4 洁净度的测定 1.检测要求 测定前,净化空调系统已反复清洗,并连续稳定运行在24h以上; 必须在空气流量、流速、压差以及过滤器检漏,围护结构泄漏测试之后进行; 所用测试仪器必须经过有效标定,并在有效期范围内。 8.2.4 洁净度的测定 2.检测方法 最小采样点数目: 每个采样点的每次采样量: 8.2.4 洁净度的测定 3.检测仪器 测量≥0.5m粒子时,采用光学粒子计数器; 测量≥0.1m粒子时,采用大流量的激光光学粒子计数器; 测量≥0.02m粒子时,采用凝聚核激光粒子计数器。 8.2.4 洁净度的测定 4.合格标准 把每次采样测量的浓度记录下来,并计算采样数据的平均值。 当采样点只有一个或多于9个时,不用计算95%置信上限。当采样点多于1个而少于10个时,应计算粒子平均浓度的
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