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E84握手流程(中文版)
弊番号
OURNo.配布先-COPY
計-SUM
承認-APP
調査-CHK
作成-DRAWN
E84PI/OINTERFACE
概要解説書
中文版
神鋼電機株式会社
SHINKO ELECTRIC CO.,LTD.JAPAN
変更来歴
内容
初版
Rev日付
00.11.2
承認藤原SSG作成佐野
Translated by Don Lee/ASTW/Training Center
目次
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6
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8
1背景?目的
半導體製造工廠中，因隨著晶圓尺寸之擴大，載體重量增加及製造工程複雜化，有導入以AGV/OHT為代表之自動搬送系統
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