扫描电子显微镜及能谱仪开放实验指导书.PDFVIP

扫描电子显微镜及能谱仪开放实验指导书 一．实验目的 扫描电镜及能谱仪是固体物质的形貌、组成和元素分析的微区分析的大型仪 器，它样品制备相对简单，操作简易，是常用的一种工具，如果在使用中，能够 理解其基本的工作原理，对于分析结果和操作是大有益处的。本实验的目的是使 学生能够了解扫描电镜及能谱仪的应用和工作原理，并培训学生能够对扫描电镜 及能谱仪进行熟练操作。 二．扫描电镜及能谱仪工作原理 本开放实验的电子显微镜是由日本电子（JEOL ）生产的JSM-5900 ，其最高 加速电压为30kV，分辨率为3nm，能谱仪为NORAN 公司的VANTAGE DSI 型。 扫描电镜是由电子枪发射的能量为5～35keV 的电子，以其交叉斑作为电子 源，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的 微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫 描。聚焦电子束与物体相互作用由于形貌的不同产生不同数量的二次电子，由于 原子序数的不同产生不同的数量的背散射电子，由于元素的不同而产生不同能量 的特征X射线，二次电子和背散射电子分别成为扫描电镜获得二次电子像、背散 射电子像最基本的信号，它们分别被不同的的探测器收集，转换成电讯号再经视 频