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本申请涉及红外探测器技术领域,公开了一种红外窗口及非制冷红外探测器,红外窗口包括窗口晶圆、设置在窗口晶圆出射面第一设定位置处的第一微结构阵列、设置在第一微结构阵列表面的吸气剂层;还包括设置在窗口晶圆出射面第二设定位置处的金属化层、设置在金属化层表面的支撑层、设置在支撑层表面的阻挡层、设置在阻挡层表面的焊料层;窗口晶圆、金属化层、支撑层、阻挡层及焊料层构成腔体结构。本申请公开的技术方案,通过第一微结构阵列扩大吸气剂层的面积,以提高窗口晶圆单位面积内吸气剂量,从而提高红外窗口单位面积上吸气剂的吸气性
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218271077 U
(45)授权公告日 2023.01.10
(21)申请号 202222325453.4
(22)申请日 2022.08.31
(73)专利权人 烟台睿创微纳技术股份有限公司
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