原创力文档- 4
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- 2023-01-17 发布于四川
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本实用新型涉及等离子体激发装置技术领域，公开了一种多馈源微波等离子体装置，包括反应体、场强辅助增强结构和至少一层微波源组件，反应体内设有微波谐振腔；每层微波源组件均包括多个微波激励源，多个微波激励源沿反应体的周向分布于反应体的侧壁；场强辅助增强结构包括实体锥芯、第一锥形管和第二锥形管，第一锥形管和第二锥形管分别设置于反应体的两端；实体锥芯同轴插设于第一锥形管内，实体锥芯与第一锥形管之间的间隔形成第一气体流道；第二锥形管内设有第二气体流道。该多馈源微波等离子体装置可以提高电场强度，在多个微波激励源
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212278529 U
(45)授权公告日 2021.01.01
(21)申请号 202020534449.7
(22)申请日 2020.04.13
(73)专利权人 北京工业大学
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