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本实用新型涉及半导体致冷件生产设备技术领域,名称是涂抹清理剂的半导体晶粒线切割装置,包括机架,在机架上安装有储丝辊、导向轮、工作台和电解液箱,所述的工作台上还有切割工位,还有电极丝缠绕在储丝辊和导向轮并经过工作台的切割工位;其特征是:所述的切割工位下面还安装有清理剂槽,所述的清理剂槽里面具有清理剂槽导向轮,所述的储丝辊经过清理剂槽导向轮;所述的清理剂槽里面安装有电动机带动的辊刷,所述的辊刷可以清洁电极丝。这样的半导体晶粒线切割装置具有可以及时清理电极丝上的污染物、保证再次使用时提高切割质量的优点
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212266293 U
(45)授权公告日 2021.01.01
(21)申请号 202021072512.6
(22)申请日 2020.06.12
(73)专利权人 河南鸿昌电子有限公司
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