晶体管原理第四章金属-氧化物半导.pdfVIP

微电子器件基础 第四章 金属-氧化物-半导 体场效应晶体管基础 MOSFET 引言 所谓“MOS”指的仅是金属－二氧化硅 （SiO2）－硅系统。更一般的术语是金属－ 绝缘体－半导体 （MIS），其中的绝缘体不 一定是二氧化硅，半导体也并非一定是硅。 由于MIS系统有着类似的基本物理概念，在 这一章里 始终讨论