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本实用新型属于太阳能电池制造技术领域，具体公开了一种真空过渡室，该真空过渡室包括过渡腔体、阀门组件和传送导向机构，传送导向机构可活动地设置在过渡腔体上，传送导向机构能够运输载板，且传送导向机构可以运动至避让阀门组件的位置，以方便阀门组件开合，提高了过渡腔体的空间利用率，缩短了过渡腔体的设置长度，进而缩短了输送装置的传送路径，保证了传动效果良好，传送导向机构能够对载板进行导向和支撑，载板的运输过程平稳，加工效率高。本实用新型还提供一种真空镀膜设备，包括上述的真空过渡室，载板的整个运动过程平稳，镀膜
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218321582 U
(45)授权公告日 2023.01.17
(21)申请号 202222404068.9
(22)申请日 2022.09.09
(73)专利权人 拉普拉斯（无锡）
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
用户编号：8063122115000010
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