镀膜机常见故障及分析报告解决预防要求措施.pdfVIP

镀膜机常见故障与分析解决预防措施 一.常见故障,问题与解决方法 下表对一些镀膜时常见的故障、真空度问题、与掉膜和膜质问题做了一些简单分析,并给予解决方案与预 防措施. 故障点 故障现象 故障原因 解决与预防措施 备注 1.1.开枪有高压,无束流 1.检查灯丝保险,烧断如此更换 立 即 关 2.保险正常如此检查灯丝更换枪高压 体. . 1.2.开高压显示跳动1.束流控制调在手动,电2.将连接灯丝变压器的高压引线立即关高压 幅度大,并有束流跳位器未归零 取下 〔注意引线不能碰到机器应 动 悬空〕开高压,正常如此枪体或高 压电极保护罩或屏蔽短路造成 1.3.开枪无高压,无束1.高压保护不到位 〔偏 流 转.真空.柜门〕 常见4号机 1.5.镀膜时灯丝突然 常见4号机 很亮束流达到满格 1.6有高压,有灯丝电 2.检修扫描,正确连接扫描线 流,无光斑 1.7.束流上不去,达不 1.重新安装或更换灯丝. 为了更好 到以前的水平〔同样 的对灯丝定形与延长灯丝使用寿 功率达不到以前的速 命,在更换新灯丝后应对灯丝进展 率〕 预热处理 3.拧紧各连接处. 1 查晶片是否被挡 2.料要加平整,养成停坩埚的好习 惯 3.预熔功率与最大功率设置合理 最大功率为略大于蒸发时所需 功率〕 1.枪体污染,杂物掉入枪1.整理枪体,在吹枪体时应用吸尘 体 器边吸使吹出的杂物吸走不被落 4.枪体阳极,栅极变形 在枪体里 7.光斑位置不合理,扫描2.拧紧各连接处,使其接触良好 状态不好 3.清洗或更换套管,应定时清洗 4.调整或更换阳极,栅极片 7.调整好光斑,检查扫描 10.将高压调在正确的档位〔中档 8KV〕.在触摸屏上操作时如调 整坩埚转速时应注意是否误碰 到高压调节档位 11.预熔时间与加的束流应合理 〔束流最后应加到接近镀第一套 时所需束流坩锅转一到两圈〕 12.设置合理的功率,预熔功率不 应太大,最大功率应与速率相匹 配,注意在第一套时速率较小时功 率的设置 2