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夹持装置.pdfVIP

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  • 2023-01-30 发布于四川
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夹持装置.pdf

    本申请提供一种夹持装置，涉及蓝宝石晶圆片生产技术领域。其中，夹持装置包括：承载部和压板，承载部设置有开口位于承载部的顶部，且沿纵向向承载部的底部延伸的容置槽；压板滑动安装于容置槽的底部，压板沿纵向延伸且压板的顶部不低于容置槽的开口，容置槽的沿第一方向与压板相对的第一侧壁与压板构成一容置空间，容置空间用于容纳多个水平放置并沿纵向堆叠的片体；其中，第一方向垂直于纵向，且与第一侧壁指向容置槽的中心的方向同向。本申请技术方案可以通过可以滑动的压板与容置槽的第一侧壁配合，可以固定堆叠的片体，能够解决片体堆

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218364213 U (45)授权公告日 2023.01.24 (21)申请号 202222272830.2 (22)申请日 2022.08.29 (73)专利权人 甘肃旭晶新材料有限公司 地址 7

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