原创力文档- 3
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- 2023-02-01 发布于四川
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本实用新型公开了一种全氟异丁腈气体泄漏检测装置。将待检测的外部环境气体输送至第一石英晶体微天平，将第二石英晶体微天平置于不含有全氟异丁腈气体的环境气体中，第一石英晶体微天平和第二石英晶体微天平表面均涂覆有吸附全氟异丁腈气体的材料，差频电路输出第一石英晶体微天平的振荡频率与第二石英晶体微天平的振荡频率的差值，处理器将振荡频率差值转换为密度值后与气体密度预设值进行比较，得到是否存在全氟异丁腈气体泄漏的结果。本实用新型的装置解决了因环境中C4F7N含量较低，检测难度大的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212321357 U
(45)授权公告日 2021.01.08
(21)申请号 202021273919.5
(22)申请日 2020.07.03
(73)专利权人 国
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