三轴MEMS陀螺仪.pdfVIP

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2023-02-01 发布于四川
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三轴MEMS陀螺仪.pdf

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本实用新型揭示了一种三轴MEMS陀螺仪，结构包括基底以及四个质量块，四个质量块以中心对称的方式悬浮设置于基底上，还包括用于实现基底与质量块二者间连接的锚点结构、用于使质量块可沿正交方向振动的解耦连接梁结构以及用于实现角速度检测的梳齿结构；每块质量块均通过锚点结构悬挂于基底上，四块质量块之间通过解耦连接梁结构实现连接，梳齿结构布置于质量块内。本实用新型采用了一种对称式的四质量结构，其振动模态结合了音叉陀螺仪的高灵敏度和对称结构带来的小频差，兼具检测灵敏度高及角度增益大的优点。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212320730 U (45)授权公告日 2021.01.08 (21)申请号 202021361392.1 (22)申请日 2020.07.13 (73)专利权人苏州感测通信息科技有限公司