一种半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构.pdfVIP

下载本文档

0
0
约8.31千字
约 8页
2023-02-01 发布于四川
举报
版权申诉

一种半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型实施例公开了一种半挥发性有机物微型释放舱的半挥发性有机物微型释放舱的气路连接结构，用于解决现有的气路连接结构运用带有一定污染物的流量调节装置对气体流量进行调节，从而影响气路中气体洁净度的技术问题。本实用新型实施例包括洁净气源；所述洁净气源连通有供气支路和校准支路；所述校准支路上连接有质量流量计，并且所述校准支路上连接有至少一个校准供气管道，每个所述校准供气管道上设有校准控制开关，每个所述校准供气管道上连接有一个集气管，所述集气管上设置有流量调节阀；所述供气支路上连接有工作供气管道，每个

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212319113 U (45)授权公告日 2021.01.08 (21)申请号 202021069825.6 (22)申请日 2020.06.10 (73)专利权人东