南京大学-原子力显微镜实验报告6903.pdfVIP

南京大学-原子力显微镜实验报 告 原子力显微镜实验报告 一．实验目的 1 ．了解原子力显微镜的工作原理 2 ．掌握用原子力显微镜进行表面观测的方法 二．实验原理 1 ．AFM 工作原理 在原子力显微镜的系统中，可分成三个部分：力 检测部分、位置检测部分、反馈系统。在 AFM 中用 一个安装在对微弱力极敏感的微悬臂上的极细探针。 当探针与样品接触时,由于它们原子之间存在极微弱 的作用力(吸引或排斥力) ,引起微悬臂偏转。 扫描时 控制这种作用力恒定,带针尖的微悬臂将对应于原子 间作用力的等位面,在垂直于样品表面方向上起伏运 动, 因而会使反射光的位置改变而造成偏移量，通过 光电检测系统(通常利用光学、电容或隧道电流方法) 2 对微悬臂的偏转进行扫描,测得微悬臂对应于扫描各 点的位置变化, 此时激光检测器会记录此偏移量，也 会把此时的信号给反馈系统，以利于系统做适当的调 整。将信号放大与转换从而得到样品表面原子级的三 维立体形貌图像。AFM 的核心部件是力的传感器件, 包括微悬臂( ) 和固定于其一端的针尖。根据物 Cantilever 理学原理,施加到 末端力的表达式为： Cantilever F K Z 表示针尖相对于试样间的距离, 为 的弹性 Z K Cantilever 系数，力的变化均可以通过 被检测。 Cantilever AFM 有三种不同的工作模式：接触模式、非接触 模式和共振模式或轻敲模式。本实验采用接触模式： 样品扫描时，针尖始终同样品 “接触”，即针尖-样品 距离在小于零点几个纳米的斥力区域。此模式通常产 生稳定、高分辨图像。当沿着样品扫描时，由于表面 3 4 5 三．实验装置 控制机箱，激光电源，样品台，高压电源，计算机 四．实验步骤 （1 ）依次开启：电脑-控制机箱-高压电源-激光器。 （2 ）用粗调旋钮将样品逼近微探针至两者间距1 mm。 （3 ）再用细调旋钮使样品逼近微探针：顺时针旋细 调旋钮，直至光斑突然向 PSD 移动。 （4 ）缓慢地逆时针调节细调旋钮并观察机箱上反馈 读数： Z 反馈信号约稳定在 之间（不单调增减即 100 ~ 200 6 可），就可以开始扫描样品。 （5 ）读数基本稳定后，打开扫描软件，开始扫描。 （6 ）扫描完毕后，逆时针转动细调旋钮退样品，细 调要退到底。再逆时针转动粗调旋钮退样品，直至下 方平台伸出 1 厘米左右。 （7 ）实验完毕，依次关闭：激光器-高压电源-控制 机箱 （8 ）处理图像，得到粗糙度