一种气相沉积用喷淋板的孔径检测治具.pdfVIP

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2023-02-01 发布于四川
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一种气相沉积用喷淋板的孔径检测治具.pdf

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本实用新型是一种气相沉积用喷淋板的孔径检测治具，包括治具底座，其特征在于，在治具底座的上表面安有前后对应的弧形卡座二，前后弧形卡座二之间形成环形开孔二，在前后弧形卡座二的上表面均对应固接有弧形卡座一，前后弧形卡座一之间形成环形开孔一，弧形卡座一、弧形卡座二与治具底座之间依次呈阶梯状结构设置。本实用新型通过在治具底座上设置弧形卡座一，弧形卡座二，以及同轴的环形开孔一和环形开孔二，在不更换检测治具的情况下，实现了自由切换检测不同规格的喷淋板的孔径，通过设置与喷淋板的定位块相适配的定位槽一和定位槽二，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212320602 U (45)授权公告日 2021.01.08 (21)申请号 202020982436.6 (22)申请日 2020.06.02 (73)专利权人富乐德科技发展（天津）有限公司