一种电镀陶瓷靶材用密封保护装置.pdfVIP

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  • 2023-02-02 发布于四川
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本实用新型涉及一种电镀陶瓷靶材用密封保护装置,包括包覆靶材(1)的非电镀面的保护套(2),分别将所述保护套(2)与所述靶材(1)的两个端面压紧的第一盖板(3)、第二盖板(4),用于固定第一盖板(3)、第二盖板(4)的固定装置。该种保护装置在电镀过程中,对陶瓷靶材的非电镀面具有良好的密封保护效果。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212335325 U (45)授权公告日 2021.01.12 (21)申请号 202020629461.6 (22)申请日 2020.11.03 (73)专利权人 北京航大微纳科技有限公司

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