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- 2023-02-02 发布于四川
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本实用新型公开了一种晶圆用去离子水冲洗烘干一体设备，包括柱形冲洗干燥腔，冲洗干燥腔底部设有电机，电机的输出轴与冲洗干燥腔底部的托盘连接，所述托盘上固定有晶圆放置架，晶圆放置架上均匀排列有晶圆，晶圆之间相距3‑5厘米，托盘侧边竖直设有进液管，进液管上均匀设有多个与晶圆相匹配的直流喷嘴，直流喷嘴向下倾斜15°‑30°，冲洗干燥腔底部设有排液管道，排液管道内设有电磁阀，电磁阀的下方设有电阻率检测头，冲洗干燥腔内设有热氮气入口以及排气口。整个设备结构设计合理，可以完成去离子水冲洗以及干燥，冲洗干净，干燥
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212339841 U
(45)授权公告日 2021.01.12
(21)申请号 202020972156.7
(22)申请日 2020.06.01
(73)专利权人 苏州昂科微电子技术有限公司
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