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实用新型提供了一种硅片片篮,包括架体,所述架体包括两个侧边架,两个所述侧边架之间通过固定件连接,每个所述侧边架顶部横向设有第一侧板,所述第一侧板上设置有多个隔板,相邻的两个隔板间隔设置,形成用于插入硅片的插槽,两个所述第一侧板上的隔板相对设置,所述侧边架顶部外侧安装有与相应抓取工具配合固定的挂板。实用新型所述的一种硅片片篮可减少热处理加工硅片时由于不规则形变对硅片造成的损伤,并且可将盛放不同规格硅片的片篮适配在同一型号的机架上。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212342585 U
(45)授权公告日 2021.01.12
(21)申请号 202020802118.7
(22)申请日 2020.05.14
(73)专利权人 中环领先半导体材料有限公司
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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