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带精密测量的可控升降装置以及包含其的光刻设备.pdfVIP

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  • 2023-02-03 发布于四川
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带精密测量的可控升降装置以及包含其的光刻设备.pdf

    本实用新型公开一种带精密测量的可控升降装置及光刻设备，装置包括固定基座、导向座、移动组件、驱动组件，固定基座与导向座固定连接，固定基座上有轴线竖向的导向套，移动组件包括升降头、导向杆、磁钢，导向杆上端有安装孔，导向杆穿过导向套，导向杆与导向套以及固定基座、导向座之间形成气浮接触面；磁钢、升降头依次装入导向杆的安装孔，使升降头伸出导向套上端，驱动组件包括电机线圈和铁芯，铁芯设置在导向杆与导向套之间的环形空间内，电机线圈缠绕在铁芯上，移动组件中心有气孔，固定基座通过导向杆的气道向气孔提供正压或负压气

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212341676 U (45)授权公告日 2021.01.12 (21)申请号 202022170608.2 (22)申请日 2020.09.28 (73)专利权人 清华大学 地址 1

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