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本实用新型公开一种三氯化铁的不锈钢蚀刻液循环再生系统，该系统包括依次连接的蚀刻机、结晶池、板框过滤机和电解槽，一盐酸补加桶、一水补加桶和一三氯化铁补加桶分别连通到蚀刻机，一再生池一端与三氯化铁补加桶连通，另一端与电解槽连通。通过以上系统实现方法，在电解槽内的三氯化铁蚀刻废液在电解槽阳极附近将Fe2+氧化成Fe3+，并通过辅助催化阴极选择性催化还原实现电解槽阴极附近H+变为氢气析出。本实用新型可有效避免其他物质混入蚀刻液，保持了蚀刻液纯度、成分的稳定性和再生三氯化铁蚀刻液的活性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212335352 U
(45)授权公告日 2021.01.12
(21)申请号 202021606080.2
(22)申请日 2020.08.05
(73)专利权人 上海毅蓝电子科技有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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