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一种MEMS结构.pdfVIP

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  • 2023-02-03 发布于四川
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一种MEMS结构.pdf

    本申请公开了一种MEMS结构，包括：衬底，具有空腔；振动支撑层，形成在衬底上方并且覆盖空腔；第一电极层，形成于振动支撑层上方；压电层，形成于第一电极层上方，压电层具有凹槽，凹槽在厚度方向上延伸穿透压电层，凹槽将MEMS结构分割成中间区域和外围区域；第二电极层，形成在压电层的中间区域和外围区域上方。通过在MEMS结构内设置凹槽，使得中间区域的各个膜层和外围区域的各个膜层能够输出电压反号，有效减少了电荷中和，从而提高了MEMS结构的灵敏度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212344061 U (45)授权公告日 2021.01.12 (21)申请号 202021829356.3 (22)申请日 2020.08.28 (73)专利权人 安徽奥飞声学科技有限公司

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