现代光电检测技术与系统总结.pptxVIP

会计学第1页/共67页本章主要内容1.光谱仪器2.光度量和辐射度量检测技术3.莫尔形貌测试技术4.条形码技术5.三角法测试技术6.光电图像检测技术第2页/共67页9.1 光谱仪器9.1.1 单色光的产生 色仪用来将具有宽谱段辐射的光源分成一系列谱线很窄的单色光，因而它既可作为一个可调波长的单色光源，也可作为分光器； 按其作用原理可分为：物质色散、多缝衍射 、滤光片 第3页/共67页单色仪的主要性能指标有：色散率和光谱分辨率1. 色散率 色散率表明从色散系统中射出的不同波长的光线在空间彼此分开的程度（角色散率），或者汇聚到焦平面上时彼此分开的距离（线色散率）。2. 光谱分辨率 分辨率是表明单色仪分开波长极为接近的两条谱线的能力。 理论分辨率等于角色散率与有效孔径在色散平面内宽度的乘积。第4页/共67页9.1.2 光谱仪器的分类 根据光谱仪器所采用的分解光谱的工作原理，它可以分成两大类：经典光谱仪器和新型光谱仪器。 根据接收和记录光谱的方法不同，光谱仪器可分为：看谱仪、摄谱仪、光电光谱仪。 根据光谱仪器所能正常工作的光谱范围，光谱仪器可分为：真空紫外(即远紫外)光谱仪、紫外光谱仪、可见光光谱仪、近红外光谱仪、红外光谱仪、远红外光谱仪。 根据仪器的功能及结构特点，光谱仪器也可以分为：单色仪、发射光谱仪、吸收光谱仪器、荧光光谱仪器、调制光谱仪、其他光谱仪器（如激光喇曼光谱仪、光声光谱仪、成像光谱仪、多光谱扫描仪等）。第5页/共67页9.1.3 分光光度计 分光光度计主要用于测量物质的光谱反射比或光谱透射比。图9-1是美国通用电器公司生产的一种由双单色仪系统和工作在零读数下的偏光光度计组成的分光光度计的结构图。?[I1]可否去掉?图9-1 美国GE公司生产的一种分光光度计 第6页/共67页9.1.4 傅立叶变换光谱仪 如图9-2是迈克尔逊干涉仪的工作原理。图9-2 迈克尔逊干涉仪的光学系统 第7页/共67页 FT光谱辐射计和迈克尔逊干涉仪的差别在于：①平面镜M2以一恒速V运动，位移量X=Vt；②光源不只是单色光，可以是连续光谱 与棱镜、光栅单色仪相比，FT光谱辐射计的主要优点：(1)高的能量传输;(2)高的信噪比；(3)高的分辨率第8页/共67页9.1.5 成像光谱仪1. 场景扫描模式 成像光谱仪场景扫描常用的模式包括掸帚式、推帚式和凝视三种，如图9-4所示。图9-4 成像光谱仪场景扫描模式第9页/共67页2. 光谱接收模式 成像光谱仪的光谱接收模式有色散型、干涉型和滤光片型，模式的最终选择取决于灵敏度、空间分辨率、光谱分辨率、视场之间的折衷。目前常见的成像光谱仪大多为基于分光棱镜、色散棱镜和衍射光栅的色散型成像光谱仪，其中又以采用光栅的色散型成像光谱仪最为突出。第10页/共67页(1) 色散型成像光谱仪 图9-5为基于反射光栅的色散超光谱系统，它原理简洁、性能稳定，可同时获得每一谱线且光谱分辨力高图9-5 基于光栅的色散系统 第11页/共67页 在光栅色散系统的实现形式上，凹面光栅由于兼具色散和成像作用，比起平面光栅系统来结构简单，光学结构紧凑、轻巧，设计简洁，所有外场应用时经常得到实际应用。凹面光栅的原理图及效果图如图9-6所示。图9-6 凹面光栅的原理效果图 第12页/共67页(2) 干涉型成像光谱仪 时间调制干涉成像光谱仪，将入射光分裂成两部分，并通过一种可变光程差将这两束光复合，从而产生一幅场景光谱干涉图（如图9-7)图9-7 时间调制干涉成像光谱仪 第13页/共67页(3) 滤光片型成像光谱仪 包括可调谐滤光片系统和空间可变滤光片系统，通过光学带通滤光片把来自场景光谱的一个窄波段透射到单个探测器或者整个焦平面探测器列阵上，可采用可调谐滤光片、分立滤光片或空间可变滤光片。可调谐滤光片包括声光和液晶两种，声光可调谐滤光片通过改变声波频率而改变有效间隔，并将滤光片调到不同波长，对于给定的声频只有很窄的光波范围满足相位匹配条件。液晶可调谐滤光片利用双折射效应，通过改变寻常入射光线和非常入射光线之间的光程差选择波长，但其调谐速度慢。采用调谐滤光片的成像光谱仪谱段可任意选择，控制方便，但很难同时获得多谱段的图像。空间可变滤光片的典型是劈形滤光片。第14页/共67页采用劈式滤光片的成像光谱仪（图9-8）原理十分简单，但工艺复杂。图9-8 劈式滤光片原理的成像光谱仪 第15页/共67页几种光谱接收模式比较如下：（1）由于色散型成像光谱仪中均含有入射狭缝，狭缝越窄，光谱分辨率越高，而进入系统的光通量就越少，即光谱分辨率和光通量成为色散型成像光谱仪中相互制约的一对矛盾。而在干涉型成像光谱仪中同时测量的却是所有谱元均有贡献的干涉强度，空间调制型干涉成像光谱仪虽然也有狭缝，但狭缝宽度不影响光谱分辨率，只决定于空间分辨率的要求。在满足空