一种DLC涂层沉积设备.pdfVIP

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2023-02-06 发布于四川
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一种DLC涂层沉积设备.pdf

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本实用新型公开了一种DLC涂层沉积设备，包括炉体、管道、抽风机、炉门和送风机，所述炉体一侧的外壁上安装有炉门，且炉门的一端与炉体相铰接，并且炉门一侧的炉体内部安装有加热管，所述加热管的一端与炉体内壁相铰接，且加热管一侧的炉体内部安装有铜棒，并且铜棒的两端皆与炉体内壁固定连接，所述铜棒的外壁上设有辅助阳极，且辅助阳极一侧的炉体内部设有转架车，并且转架车的两端皆与炉体内壁固定连接，所述转架车一侧的炉体内部安装有两组靶座，且靶座的一端延伸至炉体的内部，并且靶座的内部设有驱动机构。本实用新型不仅实现了沉

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212375360 U (45)授权公告日 2021.01.19 (21)申请号 202021057515.2 C23C 16/515 (2006.01)