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一种半导体设备的铝制加热器盖板的陶瓷提升销.pdfVIP

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  • 2023-02-07 发布于北京
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一种半导体设备的铝制加热器盖板的陶瓷提升销.pdf

    本实用新型公开的属于半导体技术领域，具体为一种半导体设备的铝制加热器盖板的陶瓷提升销，包括销杆和销帽，所述销帽连接在销杆的一端，所述销杆和销帽同轴连接，所述销杆和销帽为陶瓷材料一体成型结构，且销帽、销杆均呈圆柱状，所述销帽的外壁直径大于销杆的外壁直径，该半导体设备的铝制加热器盖板的陶瓷提升销的制备方法步骤如下：S1：注入模具；S2：打磨成型。在陶瓷提升销的顶端加宽销帽的直径，使它跟加热器盖板的直径相接近，防止制程过程中有大量气体从销帽跟加热器盖板孔缝隙流入带走一些热量，预防销帽处温度较低，钽酸锂

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212380409 U (45)授权公告日 2021.01.19 (21)申请号 202021504088.8 (22)申请日 2020.07.27 (73)专利权人 盛

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