原创力文档- 4
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- 2023-02-07 发布于四川
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本实用新型公开了一种晶圆厚度测量装置，包括测厚架，所述测厚架滑动连接有清洁箱，所述清洁箱内转动连接有料辊，所述料辊缠绕连接有清洁布，所述清洁布缠绕连接有收卷辊，所述测厚架固定连接有底架，所述底架两侧安装有螺杆b，所述螺杆b螺纹连接有滑块，所述滑块固定连接有滑架，所述滑架底端安装有电机a，所述电机a的输出端固定连接有转轴，所述转轴固定连接有转盘，所述转盘内镶嵌连接有真空吸盘，所述转盘转动连接有滑架；旋转的转盘和可前后移动的滑架配合可对晶圆各处厚度进行检测，检测方便；清洁箱内清洁布可持续对转盘表面进
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218443823 U
(45)授权公告日 2023.02.03
(21)申请号 202222515229.1
(22)申请日 2022.09.22
(73)专利权人 苏州北汀羽电子有限公司
地址 2
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