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本实用新型公开了一种光罩承载台包括：台面结构和定位装置。定位结构包括：主框架、长行程运动部件、多个U型管。主框架固定在光刻机台上。各U型管包括第一段管、第二段管以及连接管。第一段管固定在长行程运动部件上。第二段管铺设在主框架的顶部表面上。连接管呈U型结构并连接在第一和第二段管之间。长行程运动部件运动时第一段管通过连接管带动第二段管做卷起或铺平运动。主框架的侧面设置有保护外壳，保护外壳的内侧顶角设置为远离主框架的侧面边缘的结构且使保护外壳的内侧顶角位于最外侧的U型管的第二段管的运动路径外。本实用新
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218446376 U
(45)授权公告日 2023.02.03
(21)申请号 202222570816.0
(22)申请日 2022.09.28
(73)专利权人 上海华力集成电路制造有限公司
地址
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
用户编号：8063122115000010
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