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- 2023-02-07 发布于四川
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本实用新型公开了一种用于搬运晶圆的防水驱动装置，包括外壳以及位于外壳内部的驱动模组，所述驱动模组包括机械臂驱动组件和轴驱动组件，所述机械臂驱动组件的一端连接轴驱动组件，另一端连接机械臂，所述轴驱动组件通过所述机械臂驱动组件带动所述机械臂运动；所述轴驱动组件位于外壳内部，所述机械臂位于外壳外部；还包括伸缩管，所述伸缩管的一端固定连接机械臂驱动组件远离外壳的一端，另一端固定连接所述外壳。本实用新型提供的一种用于搬运晶圆的防水驱动装置，具有防飞溅水的功能，能够适用不同的晶圆搬运场合。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218428352 U
(45)授权公告日 2023.02.03
(21)申请号 202222515420.6
(22)申请日 2022.09.22
(73)专利权人 上海广川科技有限
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