原创力文档- 6
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- 2023-02-07 发布于四川
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本实用新型提供了一种衬底背封结构，包括：衬底、氧化层和阻挡层，所述氧化层覆盖所述衬底的背面和侧面，所述阻挡层覆盖所述氧化层，其中，所述氧化层的厚度为2000埃～4000埃，所述阻挡层的厚度为2000埃～6000埃；本实用新型通过形成一定厚度的阻挡层覆盖氧化层，阻挡层和氧化层包裹衬底的背面和侧面，在后续制备工艺中，阻挡层能够较好的保护氧化层，即保护了衬底的背面和侧面，防止衬底中的掺杂离子在后续制备工艺中析出，以及防止后续制备工艺对衬底的背面和侧面产生损伤。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218447877 U
(45)授权公告日 2023.02.03
(21)申请号 202222515859.9
(22)申请日 2022.09.22
(73)专利权人 厦门士兰集科微电子有限公司
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