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- 2023-02-08 发布于北京
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本公开涉及一种单晶炉,本单晶炉包括:炉体、炉盖和泄压装置;所述炉盖连接于所述炉体,所述炉盖上开设有泄压口;所述泄压装置包括泄压管道和密封盖,所述泄压管道的第一端与所述泄压口连接并连通,所述密封盖连接于所述泄压管道的第二端,所述密封盖能够打开或封闭所述泄压管道的第二端。本单晶炉通过将泄压装置的泄压管道与单晶炉的炉盖的泄压口进行连接,能够二次泄压排气的作用,起到保险作用,即使单晶炉随着使用时间的增加,炉底附着沉积物将炉底的排气口堵塞后,单晶炉内压力升高时,也可以通过泄压装置进行泄压排气,能够避免单晶
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218436020 U
(45)授权公告日 2023.02.03
(21)申请号 202222412378.5
(22)申请日 2022.09.09
(73)专利权人 隆基绿能科技股份有限公司
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