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2023-02-08 发布于四川
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本实用新型涉及激光加工设备技术领域，公开了一种激光加工装置。本实用新型包括激光模块、振镜调节模块、激光聚焦模块以及调整光片；振镜调节模块设于激光模块的激光光路上，能够调节对应激光的入射角度；激光聚焦模块设于振镜调节模块的输出光路上；调整光片设于激光聚焦模块的输出光路上，能够调整激光聚焦模块输出的聚焦激光光束的出射角度，使聚焦激光光束以垂直于加工平面的角度入射。本实用新型利用调整光片，能够调整聚焦激光光束的出射角度，使聚焦激光光束以垂直于加工平面的角度入射，能够避免因聚焦激光光束入射加工平面的撞击

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218426196 U (45)授权公告日 2023.02.03 (21)申请号 202222398234.9 (22)申请日 2022.09.09 (73)专利权人珠海东辉半导体装备有限公司地址