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晶圆片边缘腐蚀机.pdfVIP

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  • 2023-02-09 发布于北京
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晶圆片边缘腐蚀机.pdf

    本实用新型涉及一种晶圆片边缘腐蚀机，包括寻边定中心机构、搬运机构、腐蚀清洗机构及出料机构。该晶圆片边缘腐蚀机通过寻边定中心机构、搬运机构、腐蚀清洗机构及出料机构的相互配合，能够自动对晶圆片边缘进行腐蚀、清洗等操作，自动化程度高，加工效率高，提高了产品的洁净度，保证了产品质量。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212412014 U (45)授权公告日 2021.01.26 (21)申请号 202021587612.2 (22)申请日 2020.08.03 (73)专利权人 江苏科沛达半导体科技有限公司

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