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载具.pdfVIP

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  • 2023-02-10 发布于四川
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载具.pdf

    本实用新型提供一种载具，应用于利用PECVD制备石墨烯的装置中，该装置包括两个相对设置的极板以及生长基底，载具包括套筒、多个第一支撑部和多个第二支撑部，套筒呈中空结构；多个第一支撑部设于套筒内，且沿垂直于极板的方向间隔设置；多个第二支撑部设于套筒内，且沿垂直于极板的方向间隔设置；每个极板的相对两侧能分别搭接于多个第一支撑部的其中一个上和多个第二支撑部的其中一个上，两个极板平行设置；生长基底的相对两侧能分别搭接于多个第一支撑部的另一个上和多个第二支撑部的另一个上，且生长基底位于两个极板之间。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212425452 U (45)授权公告日 2021.01.29 (21)申请号 202021106694.4 (22)申请日 2020.06.16 (73)专利权人 北京石墨烯研究院 地

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