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- 2023-02-10 发布于四川
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本申请涉及键合夹具的领域，尤其是涉及一种长寿命型键合夹具，包括夹板，夹板上开有用于放置半导体材料的容纳腔，夹板上设有用于泄压的泄压组件。本申请具有增长夹具使用寿命的优点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212434598 U
(45)授权公告日 2021.01.29
(21)申请号 202021476878.X
(22)申请日 2020.07.23
(73)专利权人 无锡芯智光精密科技有限公司
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