叉指换能器指条成型工艺以及声表滤波器.pdfVIP

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2023-02-10 发布于四川
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叉指换能器指条成型工艺以及声表滤波器.pdf

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本发明公开了一种叉指换能器指条成型工艺以及声表滤波器，叉指换能器指条成型工艺通过调整光刻图形传统的互联结构，修改版图曝光区，有效地避免了光刻工艺中光刻图形形变异化的情况发生。并在后续的工艺流程中，通过目前已经较为成熟的、被本领域技术人员熟知的光刻、湿法腐蚀或干法刻蚀、去胶工艺，最终得到结构正常无形变异化的叉指换能器指条结构，而无需升级设备或提高其他工序制成能力，即在现有产线工艺制成能力水平上通过优化工艺达到了提高产品良率的效果。本发明提供的该叉指换能器指条成型工艺尤其适用于POI晶圆，制备POI

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115242206 A (43)申请公布日 2022.10.25 (21)申请号 202211158553.0 (22)申请日 2022.09.22 (71)申请人杭州左蓝微电子技术有限公司地址