一种用于制造二极管的扩散炉设备.pdfVIP

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2023-02-11 发布于四川
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一种用于制造二极管的扩散炉设备.pdf

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一种用于制造二极管的扩散炉设备，包括：石英管、移动套筒装置、冷却盘；所述石英管内设有镀金的硅片；所述移动套筒装置，包括：套筒和设在所述套筒底部的支撑装置；所述套筒与所述石英管的出口对接；所述冷却盘设置在的所述移动套筒装置的套筒的出口处。石英管的长度是移动套筒装置的套筒的长度的两倍。本实用新型的扩散炉管增加可移动的石英套筒装置，正常石英管的出炉温度在低温下300℃‑500℃左右可直接出片，金扩散需求在大于900℃的高温下出片，防止出现金析出现象，可移动的石英套筒装置可实现在高温下将硅片移动到套筒中

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212461608 U (45)授权公告日 2021.02.02 (21)申请号 202020817750.9 (22)申请日 2020.05.15 (73)专利权人福建安特微电子有限公司