真空测量简介.pptx

1第四章 真空的测量概述总压强测量分压强测量真空计校准真空测量技术第1页/共102页第一页，共103页。 2第一节 概述一、真空度真空度：真空技术中习惯以各向同性的中性气体的压强来表示真空度的高低，压强越小，则真空度越高真空计：通常把测量比大气压强小得多的气压的工具称为真空计或真空规一般意义上的真空测量属于混合气体全压强测量真空测量技术还包含气体成分分析和分压强测量真空计分类：绝对真空计和相对真空计，后者需要经过校准才能使用第2页/共102页第二页，共103页。 3真空度量值的单位采用压强单位，Pa工程上还使用kPa、MPa还有毫米汞柱、毫巴、Torr、PPI等单位测量大于100Pa压强时，也可使用真空度百分数表示二、真空度量值的单位第3页/共102页第三页，共103页。 4第4页/共102页第四页，共103页。 5三、真空计的分类与测量范围第5页/共102页第五页，共103页。 6第6页/共102页第六页，共103页。 7第二节 总压强测量U形管真空计(U tube Manometer)是利用液柱的高度差来进行气体压强测量的真空计，真空测量中一般使用水银，也有使用油的使用时，将管的一端与待测真空系统相连，另一端开口联通大气或封死，读数由U形管两边得液面差决定测量范围：10~105Pa在低真空范围内测量全压强的绝对真空计一、液位式真空计第7页/共102页第七页，共103页。 81.1 开式U形管真空计开始抽气前，两端液面等高；开始抽气后，随着真空系统压强降低，两端液面出现高度差，某一时刻达到平衡状态时，有使用水银为工作液时，? =13.595×103kg/m3第8页/共102页第八页，共103页。 91.2 闭式U形管真空计将管内预抽至10-1Pa真空，注入工作液，开口端与待测系统相连抽气到某一时刻，两端液面处于静力平衡时，待测压强为使用水银为工作液时第9页/共102页第九页，共103页。 101.3 U形管真空计的改进当待测压强很小时，就会出现读数困难，可作如下改进换用密度小的液体将U形设计改成斜放式利用光放大读数光干涉放大，可确定1.72×10-9m的液面变化第10页/共102页第十页，共103页。 11第11页/共102页第十一页，共103页。 12二、压缩式真空计压缩式真空计由硬质玻璃吹制而成，主要包含一下几部分：测量毛细管、比较毛细管、玻璃泡、水银贮存器、刻度尺、连接导管原理：理想气体的波意耳定律测量前，将真空计与被测系统连接，压强相等测量时，线将水银面提到MM线高度，将被测系统与玻璃泡分开, 玻璃泡内的压强与被测压强p相等，MM线以上玻璃泡+测量毛细管体积为V2.1 工作原理第12页/共102页第十二页，共103页。 13水银面升到右图位置时, 测量毛细管内气体体积为V1，压强为p1，而比较毛细管内压强仍为p，测量毛细管和比较毛细管的液面差h=h1=h2，则测量毛细管内压强为根据玻义耳定律，有测量低压，p?gh，V1=?d2h1/4，可得压缩真空计基本方程第13页/共102页第十三页，共103页。 14V和d在制作压缩真空计时可测得，为固定数据，则上式可写成第14页/共102页第十四页，共103页。 152.2 压缩真空计的测量刻度方法和灵敏度压缩真空计的刻度按测量时选定的水银面基准位置不同，可分为三种方法：(1) 平方刻度法 测量时将比较毛细管内液面升到测量毛细管顶 进行读数的方法，即h2=0，h1=h(2) 直线刻度法 测量时将液面升到测量毛细管的某一基准线进 行读数，即h1=常数，h1-h2=h第15页/共102页第十五页，共103页。 16(3) 无标定刻度法 测量时无基准线，将水银面提升到任意位置固定，利用测高仪分别测出h1和h2，直接代入基准方程求出p 压缩真空计是麦克劳(H. McLeod)1874年发明的，因此又称为麦克劳真空计 压缩真空计是一种测量可靠性很高的绝对真空计，普遍将其定为国家级的真空测量标准第16页/共102页第十六页，共103页。 17压缩真空计的灵敏度压缩真空计的灵敏度用dh/dp表示平方刻度，灵敏度为直线刻度，灵敏度为灵敏度主要取决于V、d、h等值：V一般约为500cm3，d=0.8mm，h最小分辨率一般取为1mm灵敏度一般为(2~5)×10-3mm/Pa，测量范围102~10-3Pa第17页/共102页第十七页，共103页。 182.3 压缩真空计的优缺点优点：绝对真空计，压强数值完全由其尺寸算出，无需校准缺点：水银饱和蒸汽压高，污染真空室，对人体有害，不能连续读数——仅作为测量标准使用第18页/共102页第十八页，共103页。 19三、弹性变形真空计弹性变形真空计是利用弹性元件在压强差作用下产生变形的原理制成的一种直接测量真空计，测量范围105~10Pa特点：规管的灵敏度与气