边缘研磨设备.pdfVIP

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2023-02-13 发布于四川
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边缘研磨设备.pdf

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本实用新型提供一种边缘研磨设备，该边缘研磨设备包括多个用于进行边缘研磨的研磨垫，边缘研磨设备还包括支撑架、压力传感器和驱动件；研磨垫设置于支撑架上，压力传感器设置于研磨垫和支撑架之间，压力传感器用于检测研磨垫与支撑架之间的压力，驱动件的输出端与支撑架固定连接，驱动件用于根据压力传感器检测的压力驱动支撑架移动。这样控制支撑架的位置，使得压力传感器检测到的压力值一定，也就是使得研磨垫与待研磨晶圆之间的接触效果是一定的，从而保证研磨效果的稳定性和一致性，进一步的，通过检测支撑架的移动距离，能够检测出研

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212471067 U (45)授权公告日 2021.02.05 (21)申请号 202021234437.9 (22)申请日 2020.06.29 (73)专利权人西安奕斯伟硅片技术有限公司