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一种用于区熔炉的单晶夹持装置.pdfVIP

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  • 2023-02-14 发布于四川
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一种用于区熔炉的单晶夹持装置.pdf

    本实用新型设计单晶硅加工设备，特别设计一种用于区熔炉的单晶夹持装置。包括夹持器本体；夹持器本体设于夹持器底盘上端面中心，夹持器本体包括圆筒和设于圆筒顶端外的环形结构，夹持器底盘中心对应开有通孔用于晶棒的穿出；夹持器本体的环形结构顶端外沿上沿周向均匀设有三个导向孔，每个导向孔内各设有一个导向杆，夹持挡片分别设于导向杆顶端；提升机构包括设于夹持器底盘上的固定座，固定座靠近夹持器本体侧为斜面结构，滑轮通过旋转轴设于固定座顶端；滑块设于斜面上，滑块一端通过钢丝绳与滑轮相连，滑块另一端设有挡板。本实用新型

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212533192 U (45)授权公告日 2021.02.12 (21)申请号 202020943599.3 (22)申请日 2020.05.29 (73)专利权人 浙江晶盛机电股份有限公司

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