一种用于上芯设备运动部位的真空软管.pdfVIP

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2023-02-14 发布于四川
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一种用于上芯设备运动部位的真空软管.pdf

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本实用新型公开了一种用于上芯设备运动部位的真空软管，该真空软管设计为螺旋状，使得在生产使用过程中可以伸缩，在不适用时，处于悬空状态，不会和晶圆接触，划伤晶圆。本实用新型的螺旋状真空软管，长时间作业过程中因其能自动收缩，无需精确确定其长度，位置固定无松动，使用过程中，真空软管无需在二次固定，杜绝晶圆沾污、划伤和蹭歪产品。降低了生产过程中的质量风险，提高了作业效率、节约改造成本，通过改装设备实现了保质保量的生产。操作使用方便，安装完成后，软管无需再固定。因其减少了与设备内部其余部件的摩擦，使用寿命大

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212542391 U (45)授权公告日 2021.02.12 (21)申请号 202021535698.4 (22)申请日 2020.07.29 (73)专利权人华天科技（西安）有限公司