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一种应用于晶圆盒自动封装设备中的入袋模组,包括支撑机构以及第一驱动机构。所述支撑机构能够在第三方向上被第一驱动机构驱动而将晶圆盒送入包装袋内。本实用新型实现了晶圆盒入袋的自动化、解放了人力、提高了生产效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212530355 U
(45)授权公告日 2021.02.12
(21)申请号 202021205942.0 B65B 43/30 (2006.01)
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