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一种涉及纳米材料制造领域的防止高频线圈匝间放电的射频等离子炬,包含等离子炬本体,所述等离子炬本体包含从内到外同轴并间隙套设的送粉管、内层管、中间管、外层管和用于电离惰性气体产生等离子体的高频线圈,所述外层管两端外侧分别套设有用于密封中间管和外层管之间间隙的密封环座;所述高频线圈对应送粉管的喷头位置套设于外层管轴向中部,所述高频线圈外侧有间隙的套设有筒形的送风玻璃罩,所述送风玻璃罩包含密封端和敞口端,所述密封端与任一密封环座对应端密封固定,该密封环座外侧壁均匀环设有多个连通至送风玻璃罩内腔的送风口
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212519531 U
(45)授权公告日 2021.02.09
(21)申请号 202021123057.8
(22)申请日 2020.06.17
(73)专利权人 洛阳博特自动化工程有限公司
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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