一种压电式MEMS麦克风.pdfVIP

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2023-02-15 发布于四川
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一种压电式MEMS麦克风.pdf

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本实用新型提供了一种压电式MEMS麦克风，包括：具有背腔的基座及压电振膜，压电振膜包括由基座固定支撑的锚定部及与锚定部一体成型的悬臂梁，悬臂梁悬置于背腔上方，悬臂梁包括沿厚度方向依次层叠设置的第一电极层、压电材料层及第二电极层，压电振膜还包括与第一电极层、压电材料层及第二电极层中的至少任意一层贴合固定的相互间隔设置的多个应力层。本方案通过在压电振膜的悬臂梁结构上设置相互间隔的多个应力层，可对压电振膜在压电材料沉积过程中产生的梯度应力进行补偿，减小压电振膜在应力和梯度应力作用下发生翘曲形变，保障了

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212572963 U (45)授权公告日 2021.02.19 (21)申请号 202021308427.5 (22)申请日 2020.07.06 (73)专利权人瑞声新能源发展（常州）有限公司