一种晶圆翘曲矫正机构.pdfVIP

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2023-02-15 发布于四川
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一种晶圆翘曲矫正机构.pdf

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本实用新型公开了一种晶圆翘曲矫正机构，包括第一电机和输送装置，所述第一电机安装在箱体左端，且箱体右端安装有第二电机，同时箱体内安装有隔板，第一电机的输出轴通过联轴器与第一旋转轴连接，第一旋转轴的另一端活动连接在隔板上，同时第一铰接座底部焊接有第二压板，并且第二压板左右两端均通过导向块活动连接在导向杆上，第二压板正下方设置有第二下压板，电动伸缩杆设置在箱体左侧内壁上，晶圆体设置在第二下压板上；第二电机的输出轴通过联轴器与第二旋转轴连接，且第二旋转轴中部设置有第二传动板。该晶圆翘曲矫正机构，输送装置

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212570941 U (45)授权公告日 2021.02.19 (21)申请号 202021861094.9 (22)申请日 2020.08.31 (73)专利权人河南通用智能装备有限公司