椭球面光轴检测方法及椭球面光轴检测装置.pdfVIP

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2023-02-15 发布于四川
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椭球面光轴检测方法及椭球面光轴检测装置.pdf

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本发明提供了一种椭球面光轴检测方法及椭球面光轴检测装置，椭球面光轴检测方法包括：将一变焦探测单元、一反射球单元和一待测椭球面安装到一光路中的相应位置上，所述变焦探测单元提供探测光并依据所述探测光产生一探测标记，所述反射球单元和所述待测椭球面相配合对所述探测标记所对应的光进行反射，以形成一与所述探测标记相对应的反射标记；以及，调整所述变焦探测单元的焦距、所述反射球单元的垂轴位置以及所述待测椭球面的位置和倾斜度，以使得所述变焦探测单元探测的所述反射标记最清晰。本发明的技术方案能够提高检测精度，实现闭

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113804410 A (43)申请公布日 2021.12.17 (21)申请号 202010479605.9 (22)申请日 2020.05.29 (71)申请人上海微电子装备（集团）股份有限公