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一种半导体设备用滤风整流装置.pdfVIP

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  • 2023-02-16 发布于四川
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一种半导体设备用滤风整流装置.pdf

    本实用新型公开了一种半导体设备用滤风整流装置，其结构包括整流箱、整流腔、入风口、滤风网、出风口、整流叶和夹紧机构，本实用新型的一种半导体设备用滤风整流装置，通过在整流箱底部设置了夹紧机构，转动控制旋钮使转轴外壁的螺纹槽与内螺纹块配合转动，内螺纹块带动连接块底部的夹紧块向右滑动，即可将滤风整流装置拆卸，清洗整流腔内壁吸附的粉尘，避免因整流腔内壁粉尘堆积而影响滤风整流效果。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212625497 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202021184163.7 (22)申请日 2020.06.23 (73)专利权人 芯米（厦门）半导体设备有限公司

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