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一种氮化镓生产用氮气供气管线.pdfVIP

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  • 2023-02-16 发布于四川
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一种氮化镓生产用氮气供气管线.pdf

    本实用新型涉及一种氮化镓生产用氮气供气管线，属于氮化镓生产技术领域。所述氮气供气管线包括第一供气管线和第二供气管线，第一供气管线和第二供气管线通过共用管连接，末端通过三通连接共同的出气管线，所述供气管线通过带穿孔的固定件固定在墙壁上。本实用新型设计的供气管线通过多个开关阀可以使第一供气管线和第二供气管线随意切换共用，使用灵活方便。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212617643 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202021415255.1 (22)申请日 2020.07.17 (73)专利权人 山东科恒晶体材料科技有限公司

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