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- 2023-02-16 发布于四川
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本实用公开了一种环保高效再生装置，包括：脱水系统、薄膜蒸发系统、固液分离和提纯系统；水储槽的出口经第二输送泵连接到薄膜蒸发器顶部冲洗附在薄膜蒸发器上的抗蚀剂，同时溶解出高沸点水溶性的化合物。本实用将回收的轻组分水用于洗涤薄膜蒸发器，减少薄膜蒸发器上抗蚀剂等的附着，提高蒸发效率，同时还能溶解其中的水溶性高沸点物质进行回收0‑10%/相对废剥离液（如常用防腐剂山梨糖醇:沸点494.9℃）。本实用能回收水、有机物、以及高沸点水溶性物质，回收效率高，能耗低。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212623575 U
(45)授权公告日 2021.02.26
(21)申请号 202021374381.7
(22)申请日 2020.07.14
(73)专利权人 苏州市晶协高新电子材料有限公
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